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超净工作台的结构
- 来源：摘要
- 作者：秩名
- 发布时间：2020-08-12 10:59:31
半导体工业在这方面采用了很多技术，但其中一个主要问题是，当小型加工车间扩大为一个工人较多的大型车间时，很难保持其固有的清洁。在半导体工业早期，过滤天花板夹层和墙壁的方法演变成超干净的工作台法。这主要是将过滤器安装在一个工作台上，使用一种不掉下来的材料。在工作台外，晶片被储存和运输在一个密封的盒子里。
在一个大型车间里，一个连续的工作台(叫做工作层流罩)形成了一个加工区域，使晶片按工序的顺序通过，不会暴露在空气中。清洁工作盖中的过滤器是一种粒子收集过滤器。这些过滤器是由脆性纤维组成的，根据手风琴的叶子包含许多孔和折叠。由于孔密度高，过滤层面积大，大量空气低速流过。
由于低速空气可以避免空气流动，有利于工作台的清洁，也需要操作人员在舒适的环境中工作。典型的空气流量为每分钟90至100英寸。HEPA过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率，可用于三种净化方法。
通常，过滤器安装在超干净工作台的顶部。风机先通过前过滤器吸入空气，然后通过HEPA过滤器吸入空气，然后以均匀和平行的方式流出，改变工作台表面的方向并流出工作台。安装板可以控制晶圆表面的气流方向，通常称为空气层流垂直工作台(VLF)工作台，这是以空气流动方向命名的。
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